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高精度测量玻璃晶圆厚度,双激光测量效率大幅提升

文章出处:网责任编辑:作者:人气:-发表时间:2021-06-04 23:42:00

玻璃晶圆因为其拥有优越的透光性、极低的荧光强度,极低的膨胀系数、抗热冲击性强,极佳的化学稳定性,极佳的抗刮花效果,极低的含碱量,使得其应用于各类高新行业。玻璃晶圆由于其材质特性拥有极高的硬度,也代表玻璃晶圆的脆性非常大,使得测量玻璃晶圆的外形尺寸十分困难,因为稍有不慎就会导致其表面留下划痕等瑕疵,无法进行后续的工序。玻璃晶圆有一项十分重要的外形尺寸,该项尺寸的测量精度同样影响后续加工,这就是厚度均匀性,一般的厚度测量工具都需要对玻璃晶圆的表面施加应力来获得数据,该类传统的接触式测量工具不单单会容易对晶圆表面留下瑕疵,测量的精度还无法满足晶圆产业的检测需求,所以上下激光厚度测量仪才是测量玻璃晶圆厚度数据的理想选择。

双激光厚度测量仪无需接触到玻璃晶圆表面更不会对其表面施加压力来测量,仅需要将晶圆放置在测量台就能实时的获得高精度厚度数据,还不会划伤晶圆表面,是一个省时省力的高精度测量设备。激光测厚仪操作简单无需培训既能轻松操作,无论是抽检还是全检都能高效率的完成,设备体积小、质量轻、方便携带,可连接电脑测量数据可输出到表格方便后续查阅,是晶圆生产企业不可多得的得力测量助手。

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